氧化铝陶瓷

氧化铝陶瓷具有良好的绝缘性、绝热性和耐磨性。因价格相对便宜，且其综合性能均衡，是应用范围较广泛的陶瓷材料之一。高纯(99.8%及以上)氧化铝耐腐蚀和耐等离子体刻蚀性能良好，被广应用在泛半导体设备中。

氧化锆陶瓷

氧化锆陶瓷以氧化锆为主要成分，根据添加的稳定剂，主要有钇稳定氧化锆、镁稳定氧化错和铈稳定氧化锆。氧化锆材料通常有较高的机械强度和断裂韧性，都具有较好的耐腐蚀性。镁稳定氧化锆在较高温度(600℃)仍保持良好力学性能。

氮化铝陶瓷

氮化铝陶瓷具有优于其他材质的热传导性和抗热震性，也有良好的绝缘性。因液相烧结且晶界无第二相，晶体结构非常致密，有着良好的抗等离子体腐蚀能力。

氮化硅陶瓷

氮化硅在高温(2000℃左右)下烧结成材，致密性好。与碳化硅相比，具有更好的机械强度和抗热震性，绝缘性、耐磨性、耐腐蚀性好。

碳化硅陶瓷

碳化硅材料具有高硬度、高耐磨性和耐化学腐蚀性。热传导率好，在高温下性能稳定，属于高温结构材料。